可靠的純水質(zhì)量

• 深度純化后的超純水雜質(zhì)含量極低，雜質(zhì)水平低至ppt或亞ppt級別^[1]。

• [1].參見“檢測數(shù)據(jù)表”查看離子水平。

嚴(yán)苛的工藝標(biāo)準(zhǔn)

• 核心部件以及配套管線均采用符合SEMI F57要求的低溶出材料，有效降低新雜質(zhì)引入，滿足集成電路先進(jìn)制程的質(zhì)量要求

科學(xué)的控制方案

• 通過無線腳踏開關(guān)取水，避免雙手觸碰，降低人為因素的污染風(fēng)險。

簡潔的操控系統(tǒng)

• 1.54英尺的彩色顯示器，實時監(jiān)測取水電阻率、TOC、水溫、流速、單次和累積取水量等信息。

便捷的取水方式

• 腳踏開關(guān)取水，解放雙手。

• 板按鍵取水，常規(guī)、定量、即時3種取水模式選擇，適應(yīng)不同取水需求。

高效的集成設(shè)計

• 高度集成的緊湊結(jié)構(gòu)，適用于安裝在面積不大的潔凈間或?qū)恿髡种小?/p>

• 卡緊機構(gòu)，使濾芯的維護(hù)更換更加輕松高效。

可追溯的數(shù)據(jù)管理

• 與XUE-10/20UV或PU-UV系列聯(lián)合使用，存儲5年的運行數(shù)據(jù)，包含取水水質(zhì)、取水量及用戶信息等數(shù)據(jù)，滿足審計追蹤需求，符合監(jiān)管法規(guī)要求。

• 具有USB端口和云平臺雙重數(shù)據(jù)保護(hù)功能。